21世纪经济报道记者骆轶琪 深圳报道

今年如火如荼的半导体行业整合浪潮中，设备厂商北方华创取得对芯源微的控制权引发了巨大关注。此后不久，设备零部件行业再有动作，富创精密宣布联合投资人取得浙江镨芯电子科技控股权，进而取得Compart公司控股权，近日这笔交易已经完成交割。

这背后，都与一位在大众视野中低调但又备受关注的人物有关——富创精密董事长郑广文。

在外界看来，这是郑广文资本布局的冰山一角，但实则潜藏着他对加速推进半导体设备零部件行业国产化的希冀。

据第三方机构统计，半导体设备零部件行业的普遍特征为品种多但批量小、认证门槛高、黏性强，目前全球头部公司以海外厂商为主。该细分市场占据半导体设备行业成本的90%，是推动设备国产化的关键变量。

近日受访时，郑广文告诉21世纪经济报道记者，构建国产化生态的核心，是从替代逻辑转换为协同创新，虽然既有旧设备难以推进零部件国产化，但在新设备开发方面，产业链之间已经在紧密协同。不止于业务开发，构建新的标准化体系也殊为重要。

此外，他谈到了近期在半导体投资领域动作频繁的原因。对于行业的未来趋势，他认为，目前国内设备距离零部件完全国产化还有很长一段距离，但正加速发展且市场空间巨大。

近期在资本市场动作频繁的郑广文，盯上了一家半导体气体传输零部件厂商。

4月1日，富创精密发布公告称，计划联合投资人共同对外投资暨收购浙江镨芯电子科技股权，鉴于后者持有国际气体传输系统制造商Compart公司96.56%股权，交易完成后富创精密将间接持有Compart公司 21.58%股权。5月27日，富创精密举行股权交割仪式，正式宣布无锡正芯（此次收购主体，富创精密主导设立的特殊目的公司）实现对Compart的控制权。

此前，郑广文陆续宣布筹划收购北京亦盛精密、投资冠华半导体等动作；半导体设备行业龙头公司北方华创取得对芯源微的控制权，其中有9.49%股份就来自郑广文实控的另一家公司沈阳先进制造所转让。

一系列投资动作背后，实则与他本人对半导体设备零部件行业的认知持续演进有关。接受采访时，郑广文详细阐释了思考路径。

他分析道，身处半导体设备零部件行业，早期认为设备腔体是最重要的零部件，这直接决定了半导体设备的工艺先进性和质量稳定性；随着业务持续深入，发现传输速度和精准度更为重要，于是创建了广川科技；在推进工艺优化过程中发现，无论刻蚀、镀膜等环节都需要依赖气体传输技术进行质量和安全保证，因此将眼光汇聚到了这一行业。

此前，富创精密已经在气体传输系统方面有一定能力积累，本次收购Compart无疑更多一份加持。

公告显示，Compart公司长期深耕海外市场，是全球半导体气体流量控制领域少数的规模化供应商，掌握对Compart的控制权后，将推动双方客户资源共享，加速在全球市场份额提升；Compart公司拥有覆盖气体传输领域上游原材料、中游零部件到下游控制系 统的全产业链技术能力，本次收购将助力公司打通产业链关键环节，并推动Compart由BTP业务模式向系统解决方案商转型。

“Compart旗下产品正是中国产业链所急需的，同时它打开了国际顶尖的气体传输设备市场。Compart目前具备大量现金流和原材料，富创会坚定支持国家产业安全的需要。”郑广文还提到，Compart公司此前已经在资本市场被反复转让交易，而富创愿意协助Compart开发中国市场，共同开发适配中国设备的定制零部件。此外，富创原本就在服务美国头部半导体设备厂商，不会出现原CEO担心的失去海外客户问题。

“富创明确表示，不在文化和管理上干预Compart运营，维持其现有团队和管理模式，避免文化冲突。”郑广文补充道，同时对其设立五年业绩目标、绑定核心管理层，以结果为导向而非流程管控，激发团队自主性。“富创不强推自身文化属性，但是要求Compart团队适配中国半导体行业的严苛质量标准，通过联合培训、客户现场协同形成共同语言。”

对于旗下公司转让所持有芯源微股权事项，郑广文指出，这可以避免业务冲突，同时集中财力投入零部件开发。富创精密明确将战略重心聚焦半导体零部件制造，目标是成为全球首家具有规模优势的离散型制造企业。整体看，借助内外部资源调整，让富创精密从平台型公司，逐渐走向具备产业链整合能力的公司。

“富创精密进行资本运作的本质，是战略聚焦下的资产重组，以产业价值而非短期财务收益为导向。”郑广文强调，富创不会单纯为了企业规模进行简单并购融资，但如果富创能够赋能该企业，同时对中国半导体有好处；此外该企业能弥补富创的产品空白，就会对这类并购标的保持兴趣。

近些年来半导体行业在构建国产化生态过程中，通常更多关注到半导体制造和设备环节，但为设备提供重要支撑的设备零部件行业却往往被忽视。

国盛证券分析指出，根据国内外半导体设备厂商公开披露信息，设备成本构成中90%以上为原材料（即各类不同零部件产品），考虑半导体设备公司毛利率一般在40%-45%，从而半导体设备零部件市场规模约为半导体设备市场规模50%-55%。

设备零部件行业的典型特征是门类繁多但定制化需求高，这也意味着零部件的批量不会太大，但上下游之间的黏性很高。

根据QY Research统计，2023年全球前五大半导体设备零部件厂商分别为ZEISS、Entegris、MKS Instrument、Altas Copco、Trumpf，当前国内厂商尚处发展期。

按照半导体设备行业的基本规律，倘若一台设备已经完成设计、生产，但凡要替换其中一个零部件，都将面临高额的重新认证成本——这成为当前零部件推进国产化的一个挑战。

郑广文对21世纪经济报道记者指出，对现有成熟设备进行零部件替换的确难度较大，但机会在于从新设备研发阶段着手，零部件厂商与设备厂商从头开始参与协同设计、成为彼此的生态伙伴。

不止于此，他认为，一个完善的研发生态系统还需要覆盖设计、检验、技术协同等多个维度。因此需要联合头部设备厂商共建行业标准，通过行业协会或国家专项，推动零部件在头部设备商中的联合认证，减少设备厂商的单独验证成本。

也即构建国产化生态的核心，是从“替代”逻辑转换为“协同创新”，通过绑定设备上的新研发需求、重构质量体系，逐步协力渗透零部件这类高壁垒领域。

随着半导体设备厂商将能力进一步外延，产业间未来可能会出现一定竞争。对此，郑广文指出，作为上游环节公司，富创精密目前已经具备从物理空间到产品IP都仅服务于一家设备企业的能力，这将形成公司的一种独特经营范式。

根据披露，目前富创精密已经可以服务7nm工艺相关设备需求。对于后续更高工艺制程的能力进阶，郑广文告诉21世纪经济报道记者，富创已经掌握先进工艺所需的核心陶瓷涂层工艺及制作超洁净材料过程中的超洁净能力，能够满足7nm以下制程相关设备的制造需求。此外，富创已经服务于全球头部设备制造商和服务商，具备先进的自主生产技术和工程制造能力。

公开信息显示，富创在半导体零部件领域有较多固定资产投入，这些将为公司产能提供保证。在本轮AI技术驱动下，叠加国产生态链的持续构建，国内半导体设备及零部件行业将会迎来更大发展机遇。

据国际半导体产业协会(SEMI)统计，2024年全球半导体设备总支出1171亿美元，同比增长10%。2024年，中国在半导体设备上的支出达495.5亿美元，同比增长35%，成为全球最大的半导体设备支出国。

郑广文分析，尤其对于先进工艺制程来说，零部件的频繁更换和维修是未来不可忽视的增量市场。但中国大陆若尚未大规模进入高工艺晶圆制造生产阶段，虽然国内零部件市场暂未形成规模，但有巨大潜力空间。

中国目前已成为全球半导体制造产能最大的市场之一。公开数据显示，国内已布局多个投资超千亿元的先进半导体项目，这些大型产业基地的建设将显著提升本土半导体产业链的综合实力。行业分析人士指出，随着2026年前后更多重大项目进入实施阶段，中国半导体产业有望实现新一轮跨越式发展。