去年,为打造高水平专业群,德州职业技术学院集成电路学院决定建设芯片全流程实训平台。消息一出来,校内校外都有人在问:搞芯片全流程?这种投入放在实训室里,值不值?企业里动辄上亿的生产线,学校能对标到什么程度?学生将来出去,企业认不认?

职业教育有明确的定位。我们的责任,是培养站在生产线前、能解决实际问题的人。芯片产业缺的不是只会背原理的人,是能上手操作的人。但很长一段时间里,学生学完了半导体物理、光刻原理,走出校门,连光刻机都没碰过。企业面试的时候问,你操作过什么设备?学生只能说,我在课本上见过。

这不怪学生。是我们没有把真家伙放在他们面前。
建全流程平台,就是为了解决这件事。它不是为了买几台设备装点门面,而是要让学生在校内就跑通一整条芯片制造的流程——从硅片清洗、光刻、刻蚀,到掺杂、沉积、测试。每一道工序,都和企业生产线上一样。后来我们才知道,这个平台,是北方地区职业院校中第一个真正实现“从硅片到芯片”全流程制造的实践教学平台。学生毕业了,企业要的,他摸过;企业用的,他做过。这个意义,比拿什么奖都实在。

但真正做起来,才知道有多难。
首先是钱。学校的钱要花在刀刃上,每一笔开销都精打细算,这边多花一点,那边就得减一点。负责采购的老师反复比价,能省的省,该花的花,把每一分钱都用在最关键的地方。

然后是设备。一台关键的薄膜沉积设备,国外的要等十八个月,价格高得承担不起。我们对接了一家国内刚起步的厂商,设备硬件适配实训场景,但行业内没有现成的调试参数和实操方案,没有任何院校可供参考借鉴。崔健院长果断决策:“风险由我们承担!设备一到,我们自己调。”去年寒假,十几个人放弃休息,一头扎进车间,开始了没日没夜的忙碌。

最让人忘不了的,是调试成功的那个晚上。
前六次,已全部失败。第一次是参数设置不对,第二次是环境控制出问题,第三次、第四次……每一次都抱着希望开始,每一次都以失败收场。连续数日的攻关,反复推倒重来,整个团队都压着一股劲儿。

裴勇生老师盯着光刻机的参数面板,一个数值一个数值地过。李修丞老师拿着掩模版,对着灯光反复检查,额头上全是汗。

晚上十一点,硅片缓缓送出。李修丞老师把它放到显微镜下,调焦、检查、反复确认。忽然,他猛地起身,激动地宣布:“成了!曲线完全吻合。”那一夜,他们守住的,不只是光刻工艺的那道关,更是心里那口永不松劲的气。

平台开放那天,第一个走进去的学生,是个大三的男孩,瘦瘦的,戴着眼镜。隔着玻璃看到那些设备时,他整个人愣住了。我们让他亲手操作一次光刻机。当硅片在显微镜下呈现出清晰图形时,他抬起头,眼眶红红的,对我们说:“老师,这个芯片,是我亲手做出来的!”

如今,一千六百多名学生在这条线上完成了全流程实操。依托这个平台,学院获评了中国半导体行业协会集成电路分会人才储备基地。行业的认可,让我们更加坚信这条路走对了。后来有人问崔健院长,花这么大力气图什么。他的回答是,让学生走出去的时候手上有本事、心里有底气,职业教育的账,要算长远账。
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