中新网广州9月19日电 (记者 程景伟)中微半导体设备(上海)股份有限公司(简称“中微”)19日在广州市增城经济技术开发区举办开工活动,其旗下的华南总部研发及生产基地项目开工启动。
项目效果图。广州市增城区委宣传部 供图
中微华南总部研发及生产基地项目总体规划占地约130亩,此次开工建设的一期项目占地约50亩,预计2026年底建成,计划2027年投产。基地建成后,将聚焦大平板显示设备领域,并拓展至智能玻璃、板级封装等其他新兴平板微观加工技术领域。
中微公司董事长兼总经理尹志尧表示,目前该公司的30多种设备已经覆盖半导体高端设备的25%到30%,在今后5年到10年该公司计划通过有机生长和外延扩展,逐步覆盖半导体高端设备的50%到60%,发展成为平台型的集团公司。